Sensofar光学轮廓仪的工作原理及应用解析 1. 简介 Sensofar光学轮廓仪是一种高精度的三维表面测量设备，可以用于测量各种类型的表面，包括光学元件、半导体器件、机械零件等。它采用非接触式测量技术，能够实现高精度的表面形貌测量，广泛应用于制造业、科研领域等。 2. 工作原理 Sensofar光学轮廓仪的工作原理基于白光干涉技术，其测量过程可以分为三个步骤。该设备通过白光干涉技术获取被测表面的高度信息，然后将高度信息转换为三维坐标点云数据。通过数据处理和分析，生成被测表面的三维模型。